Central Slurry Supply System
應用項目：大型中央供應系統，將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台，以滿足各CMP製程之需求，適合量產廠區研磨液供應使用。
系統特色：
- 管路除泡機制
- 優化流體管路設計
- 回流噴嘴增進攪拌效能
- Wet N2 防止桶壁結塊
- 流體 壓力/流量/溫度 即時監測
- pH/SG/AIC/Titration 品質監控
- 系統自動安全防護機制
- Load Cell/Flow meter 混比控制模式
- Load cell/Level sensor 桶槽液位雙偵測裝置
- 雙磁浮Pump持續供應壓力與流量平穩之研磨液
安全認證：SEMI-S2認證
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