製程機能水

隨著先進製程持續進步,晶圓線距更小,提高製程清洗效率顯得格外重要。信紘以獨特的技術、高效率的設備設計,協助客戶由源頭節能並達成綠色製造。

產業面臨的挑戰
  • 線距小、需提高清洗效率
  • 過去清洗只能具爭議性化學藥品,易造成人體、環境危害
  • 既有製程資源節省的需求
信紘解決方案
取代習用化學藥劑

透過使用信紘產品,提供客戶在不改變既有製程的情況下取代習用的化學品,使製程效率提高且更環保。

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特殊表面清洗

利用機能水的液體特性,能夠滲入更微小的縫隙中,將極小微粒不純物挾帶而出,達到更有效、更潔淨的清洗。

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機能水供應系統
  • CO2-DIW Dissolver