特殊表面清洗

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利用機能水的液體特性,能夠滲入更微小的縫隙中,將極小微粒不純物挾帶而出,達到更有效、更潔淨的清洗。

去除製程特殊附著物
  1. 提高產品潔淨度達到製程良率提升
  2. 減少化學品的使用
極小微粒不純物洗淨
  1. 提高產品潔淨度達到製程良率提升
  2. 減少化學品的使用

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