研磨液供應系統

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提供研磨液供應系統 (Slurry Supply System) Turn-key服務,具高精準度的劑量控制及勻質混合設計,針對不同Slurry使用適當的度量及供應方法。

系統設計範圍:
  • 研磨液供應機台設計與製造
  • 儀電工程設計
  • 現場工程管路施工
應用產業:

半導體製程

系統設備

Local Slurry Supply System

應用項目:中小型供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台,以滿足各CMP製程之需求,適合新製程研發或量產前期研磨液供應使用。

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Central Slurry Supply System

應用項目:大型中央供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台,以滿足各CMP製程之需求,適合量產廠區研磨液供應使用。

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