解決方案

• 製程機能水
  • 取代習用化學藥劑
  • 特殊表面清洗
• 製程特殊廢液處理
  • 活化再利用
  • 減量
  • 危害物質去除
• 系統整合
  • 化學供應系統
  • 研磨液供應系統
  • 氣體供應系統
  • Gas VMB / VMP
  • Gas Mixer / Gas Blender
  • Gas Cabinet / Rack
  • 廢液回收系統
  • 自動控制系統