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解決方案

Gas Cabinet / Rack

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Gas Mixer / Gas Blender

Gas VMB / VMP

系統特色：

特殊設計之真空隔離盤面架構，避免製程汙染及危害
出口壓力即時監控
使用市售標準元件，降低維修與更換元件成本
內建壓力及重量趨勢曲線記錄，可即時查詢

安全認證

SEMI S2

設備規格

2 Cylinder: 2-process製程氣體x2
3 Cylinder: 2-process, 1-purge製程氣體x2+吹淨氣體x1

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