Waste Chemical Coupling Booth

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應用項目:半導體製作過程中產生之液態廢棄物,藉由本機台回收至槽車,委外回收。

系統特色:
  • Redundant Pump
  • Pump 減震機構
  • 水錘防制設計
  • Tank安全保護閥
  • Sump Pump
  • 自動安全防護系統
  • 填充管飽壓測試與安全防護機制

安全認證:SEMI-S2認證


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