本公告的重點
Ball Wave公司（總部位於日本宮城縣仙台市，執行長：赤尾慎吾）與信紘科技股份有限公司（總部位於台灣（中華民國）苗栗縣竹南鎮，總經理：簡士堡）已簽署應用於台灣、中國與部分亞太地區半導體產業之Ball Wave微量水氣感測器的獨家經銷合約。
Ball Wave與信紘科已共同開發一款於先進半導體廠，具備水分品質監控的氣體供應系統。
概述
微量水氣感測器為Ball Wave球體SAW（ball SAW）技術的一項應用。球體SAW是一種在固態球體傳遞的特殊表面聲波（SAW），具備極高的敏感度與卓越的迅速反應時間（圖1）。Ball Wave的一個微量水氣感測器產品系列具備特殊電路與軟體，可透過測量球體SAW的特性，偵測各種背景氣體內的微量水氣數量。
http://ballwave.jp/english/images/ft_catalog_en.pdf
®信紘科為一家半導體氣體化學供應設備製造商與廠務系統整合工程公司（圖2），與BW合作將其微量水氣感測器產品整合於氣體供應系統，推出IQC系統，該系統可監測氣體供應系統中的微量水氣含量，以確保製程用的氣體品質。
未來雙方將從IQC系統拓展至其他更廣泛應用，，以確保先進半導體廠使用之氣體的水氣維持穩定之品質要求。
圖1. 球體SAW技術微量水氣感測器
微量水氣感測器
半導體產業終於能線上監控特殊氣體與腐蝕性氣體內的微量水氣ppb-ppm濃度。對於尖端晶片的穩定生產而言，此為必要功能。
圖2. 信紘科產品
名詞解釋
尖端半導體產業：受到行動電話、筆記型電腦、伺服器、汽車、智慧家庭、遊戲、穿戴裝置與Wi-Fi基地台產品的驅動，半導體市場預計在2021年成長超過17%。
半導體產業特殊氣體：矽晶圓表面的不同材質薄膜層是透過沉積與蝕刻化學反應進行附加，而每一層都需要不同的反應氣體，例如AsH3/H2、Cl2、GeH4/H2與HF。
半導體產業微量水氣：在半導體製造使用的氣體，減少雜質十分重要，尤其是殘留水氣。
球體SAW感測器：這種感測器使用在球體表面傳導並持續環繞球體表面且不會朝橫向傳播的表面聲波（SAW）。球體SAW感測器具備Ball Wave的專利智慧財產。
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