Central Slurry Supply System
应用项目：大型中央供应系统，将研磨液依制程需求精准混制并安全地输送至CMP制程机台，以满足各CMP制程之需求，适合量产厂区研磨液供应使用。
系统特色：
- 管路除泡机制
- 优化流体管路设计
- 回流喷嘴增进搅拌效能
- Wet N2 防止桶壁结块
- 流体 压力/流量/温度 即时监测
- pH/SG/AIC/Titration 品质监控
- 系统自动安全防护机制
- Load Cell/Flow meter 混比控制模式
- Load cell/Level sensor 桶槽液位双侦测装置
- 双磁浮Pump持续供应压力与流量平稳之研磨液
安全认证：SEMI-S2认证
展开表单
