制程机能水
随着先进制程持续进步，晶圆线距更小，提高制程清洗效率显得格外重要。信纮以独特的技术、高效率的设备设计，协助客户由源头节能并达成绿色制造。
产业面临的挑战
- 线距小、需提高清洗效率
- 过去清洗只能具争议性化学药品，易造成人体、环境危害
- 既有制程资源节省的需求
信纮解决方案
取代习用化学药剂
透过使用信纮产品，提供客户在不改变既有制程的情况下取代习用的化学品，使制程效率提高且更环保。
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特殊表面清洗
利用机能水的液体特性，能够渗入更微小的缝隙中，将极小微粒不纯物挟带而出，达到更有效、更洁净的清洗。
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机能水供应系统
