特殊表面清洗

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利用机能水的液体特性,能够渗入更微小的缝隙中,将极小微粒不纯物挟带而出,达到更有效、更洁净的清洗。

去除制程特殊附着物
  1. 提高产品洁净度达到制程良率提升
  2. 减少化学品的使用
极小微粒不纯物洗净
  1. 提高产品洁净度达到制程良率提升
  2. 减少化学品的使用

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