提供研磨液供应系统 (Slurry Supply System) Turn-key服务，具高精准度的剂量控制及匀质混合设计，针对不同Slurry使用适当的度量及供应方法。
半导体制程
应用项目：大型中央供应系统，将研磨液依制程需求精准混制并安全地输送至CMP制程机台，以满足各CMP制程之需求，适合量产厂区研磨液供应使用。
应用项目：中小型供应系统，将研磨液依制程需求精准混制并安全地输送至CMP制程机台，以满足各CMP制程之需求，适合新制程研发或量产前期研磨液供应使用。
