解决方案

• 制程机能水
  • 取代习用化学药剂
  • 特殊表面清洗
• 制程特殊废液处理
  • 活化再利用
  • 减量
  • 危害物质去除
• 系统整合
  • 化学供应系统
  • 研磨液供应系统
  • 气体供应系统
  • Gas Cabinet / Rack
  • Gas Mixer / Gas Blender
  • Gas VMB / VMP
  • 废液回收系统
  • 自动控制系统