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系统特色:
特殊设计之真空隔离盘面架构,避免制程污染及危害
出口压力即时监控
使用市售标准元件,降低维修与更换元件成本
内建压力及重量趋势曲线记录,可即时查询
安全认证
SEMI S2
设备规格
2 Cylinder: 2-process制程气体x2
3 Cylinder: 2-process, 1-purge制程气体x2+吹净气体x1
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地址:苗栗县竹南镇友义路66号
电话:+886 37-580791
传真:+886 37-580792
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