Gas Cabinet / Rack

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系统特色:
  • 特殊设计之真空隔离盘面架构,避免制程污染及危害
  • 出口压力即时监控
  • 使用市售标准元件,降低维修与更换元件成本
  • 内建压力及重量趋势曲线记录,可即时查询
安全认证
  • SEMI S2
设备规格
  • 2 Cylinder: 2-process制程气体x2
  • 3 Cylinder: 2-process, 1-purge制程气体x2+吹净气体x1

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