信纮科开始行销针对台湾、中国与亚太区域半导体产业独家经销的Ball Wave公司微量水气感测器

NEWS 2022-01-20

本公告的重点

• Ball Wave公司（总部位于日本宫城县仙台市，执行长：赤尾慎吾）与信纮科技股份有限公司（总部位于台湾（中华民国）苗栗县竹南镇，总经理：简士堡）已签署应用于台湾、中国与部分亚太地区半导体产业之Ball Wave微量水气感测器的独家经销合约。

• Ball Wave与信纮科已共同开发一款于先进半导体厂，具备水分品质监控的气体供应系统。
  

概述

微量水气感测器为Ball Wave球体SAW（ball SAW）技术的一项应用。球体SAW是一种在固态球体传递的特殊表面声波（SAW），具备极高的敏感度与卓越的迅速反应时间（图1）。Ball Wave的一个微量水气感测器产品系列具备特殊电路与软体，可透过测量球体SAW的特性，侦测各种背景气体内的微量水气数量。

http://ballwave.jp/english/images/ft_catalog_en.pdf

®信纮科为一家半导体气体化学供应设备制造商与厂务系统整合工程公司（图2），与BW合作将其微量水气感测器产品整合于气体供应系统，推出IQC系统，该系统可监测气体供应系统中的微量水气含量，以确保制程用的气体品质。

未来双方将从IQC系统拓展至其他更广泛应用，，以确保先进半导体厂使用之气体的水气维持稳定之品质要求。

图1.　球体SAW技术微量水气感测器

微量水气感测器

半导体产业终于能线上监控特殊气体与腐蚀性气体内的微量水气ppb-ppm浓度。对于尖端晶片的稳定生产而言，此为必要功能。

图2.　信纮科产品

名词解释

1. 尖端半导体产业：受到行动电话、笔记型电脑、伺服器、汽车、智慧家庭、游戏、穿戴装置与Wi-Fi基地台产品的驱动，半导体市场预计在2021年成长超过17%。

2. 半导体产业特殊气体：硅晶圆表面的不同材质薄膜层是透过沉积与蚀刻化学反应进行附加，而每一层都需要不同的反应气体，例如AsH₃/H₂、Cl₂、GeH₄/H₂与HF。

3. 半导体产业微量水气：在半导体制造使用的气体，减少杂质十分重要，尤其是残留水气。

4. 球体SAW感测器：这种感测器使用在球体表面传导并持续环绕球体表面且不会朝横向传播的表面声波（SAW）。球体SAW感测器具备Ball Wave的专利智慧财产。

联络人：

Ball Wave公司

企业策略部

电话：+81 3 5979 2357

電子郵件：tsukahara@ballwave.jp

http://ballwave.jp/english/index.html

信纮科技股份有限公司

企划处

电话：+886 37 580791

电子邮件：IR@trusval.com.tw

https://www.trusval.com.tw/index_en