- 研磨液供應系統 - 信紘科技股份有限公司
研磨液供應系統
提供研磨液供應系統 (Slurry Supply System) Turn-key服務,具高精準度的Slurry混合、劑量控制之設計,針對不同Slurry使用適當的度量方法。
系統介紹
系統特色
系統架構圖
系統介紹
能力
  系統需求規劃設計
  研磨液供應機台設計與製造
  儀電工程設計
  現場工程管路施工
 
應用產業

  半導體製程
 
優勢
  系統設計高效能
  利於安裝與拆卸維修
  低維修與零件成本
 
認證
  通過 SEMI S2 認證

 
連絡資訊
  業務  陳小姐 
  Email : murphy@trusval.com.tw
  電話:037-580745#283
  傳真:037-580746

 
特色
Pump、Filter     Auto Flush設計
    De-Bubble
    備援(Redundancy)模組
供應設計     磁浮式Pump
    雙迴路供應模式可供選配
管路輸送設計     管路除泡
    減少管路死角
    平順流體管路設計
儲存/供應桶槽     回流噴嘴增進攪拌效能
    Wet N2 防止桶壁結塊
    Bar-code interlock
Drain     Sump Pump漏液保護設計
Sensor     Load cell/Level sensor 桶槽液位偵測
    壓力/流量/溫度 流體即時監測
    pH/SG/AIC/Titration 品質監控
    Load Cell/Flow meter 混比控制
電子材料     符合CE認證
優化設計 ---
Remove Rate提升
    固態研磨顆粒濃度控制
    H2O2濃度控制
    整體均勻度控制
    使用時間控制
優化設計 ---
Large Particle Count 降低
    流速控制
    研磨液受剪應力之控制
    PH變化造成衝擊
    研磨液結塊