- 氣體供應系統 - 信紘科技股份有限公司
氣體供應系統
氣體供應系統(Gas Supply System)提供特殊氣體鋼瓶供應系統,具有全自動多功能吹淨程序及高覆蓋度安全連鎖機制設計。另提供高純度混氣系統,能自動即時型定比例氣體混合,並可自動計算控制變異供應量
系統介紹
系統特色
系統架構圖
系統介紹
能力
  系統需求規劃設計
  氣體供應/氣體混合機台設計與製造
  儀電工程設計
  現場工程管路施工
 
應用產業
  半導體製程、TFT-LCD、生化、醫藥、食品、玻璃、鋼鐵、太陽能產業

系統類別
  Gas Cabinet
  Gas Mixer
  BSGS System
 
優勢
  系統設計高效能
  利於安裝與拆卸維修
  低維修與零件成本
 
認證
  通過 SEMI S2 認證

 
連絡資訊
  業務  陳小姐 
  Email : hsuanni@trusval.com.tw
  電話:03-5183633#306
  傳真:03-5183623
特色
Controller     Touch Panel
    內建壓力及重量趨勢曲線紀錄, 即時查詢
    變異供應流量設計
    自動定比例濃度控制供應
    雙迴路電源供應系統
    緊急強制供氣開關
Mixing     使用高純度來源氣體, 確保成品品質
    數位式質量流量控制器
    多孔隙特性混合裝置
    系統穩壓調節裝置
    即時濃度分析監控分析儀
    混合氣緩衝儲存桶設計
    供應流量即時監控
Flammable Gases     火焰偵測器
    過溫偵測器
    消防灑水裝置
盤面設計     特殊設計之真空隔離盤面結構,
    避免因閥件內漏而導致的製程汙染以及危害

    手動閥啟閉動作監控
    壓力傳感器即時監控
Install Cylinder
    鋼瓶條碼辨識功能
    鋼瓶接頭遮蔽器
Flammable Gases
    火焰偵測器
    過溫偵測器
    防火鋼質隔板
    消防灑水裝置
Liquify Gases
    電子式磅秤計量