- 制程机能水 - 信紘科技股份有限公司
制程机能水
随着先进制程持续进步,晶圆线距更小,提高制程清洗效率显得格外重要。信纮以独特的技术、高效率的设备设计,协助客户由源头节能并达成绿色制造。
产品介绍
产品介绍
产业面临的挑战:
 –线距小、需提高清洗效率
 –过去清洗只能具争议性化学药品,易造成人体、环境危害
 –既有制程资源节省的需求


信纮解决方案:
 –取代习用化学药剂
 –特殊表面清洗

 
机能水供应系统:
 – CO2-DIW Dissolver
 

联络人:
业务  龚先生 
E-mail:chuchiao@trusval.com.tw
电话:+886 3 518-3633#324  
传真:+886 3 518-3623