- 研磨液供应系统 - 信紘科技股份有限公司
研磨液供应系统
提供研磨液供应系统 (Slurry Supply System) Turn-key服务,具高精度的Slurry混合、剂量控制之设计,针对不同Slurry使用适当的度量方法。
系统介绍
系统特色
系统架构图
系统介绍
能力
  系统需求规划设计
  研磨液供应机具设计与制造
  仪电工程设计
  现场工程管道施工
 

应用产业
  半导体工艺

优势
  系统设计高效能
  利于安装与拆卸维修
  低维修与零件成本

认证

  通过 SEMI S2 认证


连络信息

  业务  陈小姐 
  Email:murphy@trusval.com.tw
  电话:+886 37-580745#283
  传真:+886 37-580746
特色
PumpFilter     Auto Flush设计
    De-Bubble
    冗余(Redundancy)模块
供应设计     磁悬浮Pump
    双回路供应模式可供选配
管道输送设计     管道除泡
    减少管道死角
    平顺流体管道设计
储存/供应桶槽     回流喷嘴增进搅拌性能
    Wet N
2 防止桶壁结块
    Bar-code interlock
Drain     Sump Pump漏液保护设计
Sensor     Load cell/Level sensor 桶槽液位监测
    压力/流量/温度 流体实时监测
    pH/SG/AIC/Titration 品质监控
    Load Cell/Flow meter 混合比控制
电子材料     符合CE认证
优化设计 ---
Remove Rate提升
    固态研磨颗粒浓度控制
    H2O2浓度控制
    整体均匀度控制
    使用时间控制
优化设计 ---
Large Particle Count 降低
    流速控制
    研磨液受剪应力之控制
    PH变化造成冲击
    研磨液结块