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气体供应系统
气体供应系统(Gas Supply System)提供特殊气体钢瓶供应系统,具有全自动多功能吹净程序及高覆盖度安全连锁机制设计。另提供高纯度混气系统,能自动实时型定比例气体混合,并可自动计算控制变异供应量
系统介绍
系统特色
系统架构图
系统介绍
能力
  系统需求规划设计  
  气体供应/气体混合机具设计与制造
  仪电工程设计
  现场工程管道施工
 

应用产业
  半导体工艺、TFT-LCD、生化、医药、食品、玻璃、钢铁、太阳能产业

系统类别
  Gas Cabinet
  Gas Mixer
  BSGS System 

优势
  系统设计高效能
  利于安装与拆卸维修
  低维修与零件成本

认证

  通过 SEMI S2 认证


连络信息

  业务  陈小姐 
  Email : hsuanni@trusval.com.tw
  电话:03-5183633#306
  传真:03-5183623
 
特色
Controller     Touch Panel
    内建压力及重量趋势曲线纪录, 实时查询.
    变异供应流量设计
    自动定比例浓度控制供应
    双回路电源供应系统
    紧急强制供气开关
Mixing     使用高纯度气源, 确保成品质量
    数字式质量流量控制器
    多孔隙特性混合装置
    系统稳压调节装置
    实时浓度分析监控分析仪
    混合气缓冲储存桶设计
    供应流量实时监控
Flammable Gases     火焰监测检测器
    过温监测检测器
    消防洒水装置
盘面设计     特殊设计之真空隔离盘面结构, 避免因阀件内漏而     导致的工艺污染以及危害
    手动阀开关动作监控
    压力传感器实时监控
Install Cylinder     钢瓶条形码识别功能
    钢瓶接头遮蔽器
Flammable Gases     火焰监测检测器
    过温监测检测器
    防火钢制隔板
    消防洒水装置
Liquify Gases     电子式磅秤计量