- 含雙氧水廢液處理 - 信紘科技股份有限公司
含雙氧水廢液處理


 H202去除
以往硫酸廢液大都由廠商清運後委外處理,近年來由於對於雙氧水的安全考量以及處理成本問題,許多半導體廠對於含有雙氧水的廢硫酸減廢系統的需求逐漸增加
 

含雙氧水廢液處理技術
信紘含雙氧水廢液處理技術開發方向為:
    1. 高級氧化法
    2. 觸媒
    3. 酵素


信紘針對此一客戶需求,已開發一套完整的系統,可有效處理含有雙氧水的硫酸廢液,其處理後的雙氧水在硫酸中的含量低於100 ppm以下,且處理後的硫酸無任何金屬汙染,仍屬於次電子級硫酸,可回收做為其他工業用途。
 

實際應用與實績
以含雙氧水廢液處理技術所開發之設備已運用於台灣先進半導體廠商製程中,實際應用設備:
-以觸媒為基礎的廢硫酸H2O2去除設備,處理量10~20 m3/天
    (可依客戶需求設計所需的處理量)