- 氣液混合技術 - 信紘科技股份有限公司
氣液混合技術


製程用機能水提供
氣液相溶解的技術可用於半導體製程,用以製造各種不同用途的高潔淨清洗用的水溶液。氣液相溶解的技術除了用於製造晶圓清洗用的高潔淨水溶液之外,還可以用於配製特定濃度的溶液。

氣液混合技術
信紘在CO2氣液相溶解的技術以及提高氣體在水溶液中的溶解效率已開發多項專利技術。對CO2/碳酸水系統的PH值及電導度行為建立模擬計算基礎,並藉此開發CO2/DIW 混合設備(汽水機)系統應用於半導體製程。 

實際應用與實績
以氣液混合技術所開發之設備已運用於台灣先進半導體廠商製程中,已實際應用之設備:
-CO2/DIW 混合設備(汽水機)