- 含双氧水废液处理 - 信紘科技股份有限公司
含双氧水废液处理


H202去除
以往硫酸废液大都由厂商清运后委外处理,近年来由于对于双氧水的安全考虑以及处理成本问题,许多半导体厂对于含有双氧水的废硫酸减废系统的需求逐渐增加
 

含双氧水废液处理技术
信紘含双氧水废液处理技术开发方向为:
    1. 高级氧化法
    2. 催化剂
    3. 酵素


信纮针对此一客户需求,已开发一套完整的系统,可有效处理含有双氧水的硫酸废液,其处理后的双氧水在硫酸中的含量低于100 ppm以下,且处理后的硫酸无任何金属污染,仍属于次电子级硫酸,可回收作为其他工业用途。
 
实际应用与实绩
以含双氧水废液处理技术所开发之设备已运用于台湾先进半导体厂商工艺中,已实际应用之设备:
以催化剂为基础的废硫酸H2O2去除设备,处理量10~20 m3/天
 (可依客户需求设计所需的处理量)