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气液混合技术


工艺用机能水提供
气液相溶解的技术可用于半导体工艺,用以制造各种不同用途的高洁净清洗用的水溶液。气液相溶解的技术除了用于制造晶片清洗用的高洁净水溶液之外,还可以用于配制特定浓度的溶液。
 

气液混合技术
信纮在CO2气液相溶解的技术以及提高气体在水溶液中的溶解效率已开发多项专利技术。对CO2/碳酸水系统的PH值及电导度行为建立模拟计算基础,并藉此开发CO2/DIW 混合设备(汽水机)系统应用于半导体工艺。
 

实际应用与实绩
以气液混合技术所开发之设备已运用于台湾先进半导体厂商工艺中,已实际应用之设备:
-CO2/DIW 混合设备(汽水机)